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        板式PECVD上下料機

        產品特點

        最高產能可達到6000pcs/h 

        可根據客戶需求進行定制 

        設備結構簡單穩定

        技術參數

        技術參數相關參數
        產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
        碳框尺寸 

        10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

        硅片尺寸 

        166mm-210mm

        碎片率  ≤0.02%
        開機率≥98%
        功率15kW
        耗氣量500L/min
        具體參數如有變動,本公司不另行通知!
        返回
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